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半导体设备投资逆势增长53.4%，高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）领涨半导体板块

截至2025年8月26日 11点16，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.73%，成分股盛美上海上涨8.49%，拓荆科技上涨7.57%，安集科技上涨6.04%，华海清科，中微公司等个股跟涨。科创半导体ETF上涨0.99%。拉长时间看，截至2025年8月

截至2025年6月24日收盘，国证半导体芯片指数强势上涨1.93%，成分股寒武纪上涨6.91%，圣邦股份上涨3.77%，格科微上涨3.12%，兆易创新，晶晨股份等个股跟涨。半导体ETF上涨1.85%，最新价报0.77元。

2025年3月19日，半导体ETF盘中交投活跃，溢价频现，截至13:10，该基金下跌0.98%，盘中成交额已达5.17亿元。成分股乐鑫科技领涨5.05%，南芯科技上涨3.65%，全志科技上涨2.42%。